• Главная /
• Свойства молибдена Распыление Целевые

Свойства молибдена Распыление Целевые

Для того чтобы увеличить эффективность распыления и обеспечения качества пленок, свойства молибдена распыляемой мишени требуются на высоком уровне.

Чистоту молибдена распыляемой мишени

Высокая чистота является фундаментальным требованием молибдена распыляемой мишени.Более высокой чистоты молибдена распыляемой мишени, тем выше производительность молибден распыления осаждения пленки. Вообще говоря, чистоты молибдена распыляемой мишени должны достичь 99,95% по крайней мере. С развитием LCD и электронной промышленности, чистота молибдена распыляемой мишени будет 99,99% - 99.999% или даже выше.

При напылении покрытий, когда молибдена распыляемой мишени с низкой плотностью hitted, газ в зазорах цель была бы быть освобожден. Таким образом, качество молибдена распыляемой мишени снижается. Таким образом, чтобы молибден распыляемой мишени, плотность требуется свыше 98%, к более высокой производительности распыления мишени осаждения пленок.

Размер кристалла и распределение В общем, молибден распыляемой мишени является поликристаллической структуры. Размер матрицы измеряется от микрона до миллиметра. Чем меньше размер матрицы, тем выше скорость распыления. И его распределение является сбалансированным.

Приклеивание материала мишени и шасси

Молибден распыляемой мишени связан с медными или Al и т.д., чтобы обеспечить хорошую проводимость электричества и тепла.