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モリブデンロータリースパッタリングターゲット

ターゲットを回転させるモリブデンマグネトロンがターゲットです。ターゲットは、低速回転と、固定磁石が装備されている円筒形状、製。

目標温度回転モリブデンは1800℃であり、最高温度は2310℃であり、密度は19.2グラム/ ccで、99.95％の純度です。

モリブデンターゲットの回転が低い特定のインピーダンス、良好な耐食性、高導電性、高融点性能を有しています。主にあっても、溶融石英、ガラス溶融、真空炉、高温炉とプレート電極断熱材業界を使用しました。

モリブデン回転ターゲットは、モリブデンスパッタリングターゲットの利用法を改善することです。平面ターゲットモリブデンに比べ、モリブデン回転ターゲットデザイン構造は、実質的な利点は、スパッタリングターゲットモリブデン示しています。寿命は、時間を掛けたスパッタリングターゲットのスパッタ電力として定義され、または全体の厚さは、基板材料上に堆積させることができます。 30％〜50％のモリブデンターゲット面からのターゲット材料の利用の利用率を高めるために、ターゲットの形状と設計変更で回転ターゲットをモリブデンモリブデンの面は>80％のモリブデン回転ターゲットを増加させることができます。また、スパッタリングパワー、スパッタリング時間を乗じた場合、ターゲット材料、長い平面ターゲットの5倍の寿命よりも目標回転モリブデンモリブデンの寿命を測定します。モリブデン回転ターゲットので常にスパッタリングプロセスに回転しているので、その表面に再堆積現象を生成しません。